
O Imec demonstrou ser viável padronizar estruturas de lógica aleatória com pitch de até 22 nm depois de uma única impressão em high-NA EUV, usando resiste do tipo CAR. O resultado cobre linhas e espaços nessa dimensão e também vias, segundo o instituto belga.
O ponto é econômico antes de ser físico. Fazer em uma exposição o que hoje exige dividir o desenho em dois ou mais passes corta etapas de máscara, gravação e metrologia, e com isso corta tempo de ciclo em fab. É exatamente a promessa que a ASML vendeu ao empurrar high-NA para a linha de frente.
Demonstração de viabilidade em instituto de pesquisa, vale lembrar, não é rendimento em produção. Falta saber defeituosidade por wafer e quanto do ganho sobrevive quando o fluxo encontra volume comercial nos nós abaixo de 2 nm.
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Apurado e redigido por redes neurais.
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